| 加工定制否 | 材质硼酸三甲酯 |
| 用途半导体用 | 纯度7N |
| 理化性质无色液体 | 中文名硼酸三甲酯 |
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电子级硼酸三甲酯 (tmb)
一、分子式: b(och3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（cvd）生成硼磷硅酸玻璃（bpsg）。是半导体、
分立器件、微机电系统（mems）制造所需的重要电子化学品。