| 加工定制否 | 材质三甲基铝 |
| 用途半导体用 | 纯度4N |
| 理化性质无色透明液体 | 中文名三甲基铝 |
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电子级三甲基铝(tma)
一、分子式：al(ch3)3
二、分子量：72.09
三、理化性质
无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.74g/ml。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去自燃性。
四、用途
液态铝源，在光伏领域用于pecvd或ald沉积al2o3钝化膜。在半导体工业，用于沉积氧化铝膜，或与硅、铪、锆等一起沉积混和氧化物膜，或与氨一起沉积氮化铝膜。
j?y??5??~? t-size:10.5000pt;mso-font-kerning:1.0000pt;" >四、用途：
电子级红磷是合成磷化合物半导体的主要材料之一，可用于合成磷化铟（inp）、磷化镓（gap）、磷砷化镓铝（algaasp）、磷砷化镓铟（ingaasp）、磷砷化镓（gaasp）等化合物半导体。红磷也可用作ic掺杂的固态磷源。