| 加工定制否 | 品牌万和 |
| 型号天津1700℃真空CVD系统 | 最大电压天津1700℃真空CVD系统V |
| 功率CVD-1700W | 额定温度1700℃ |
| 主要用途适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。主要技术参数： | 产品认证通过欧盟CE认证，设备运行安全，证书编号：GB/1067/4189/12 Issue 1 |
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主要功能和特点：
1、真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全可靠。 5、采用水冷kf快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、管路采用世界swagelok卡套连接，不漏气；
7、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，保证设备及实验的安全性。主要用途和适用范围：适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。主要技术参数：
主要技术参数：
sgl-1700
高温炉
控温方式
采用人工智能调节技术，具有pid调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序。
加热元件
进口1700型优质硅钼棒
工作电源
ac220v 50hz/60hz；额定功率6kw
炉管材质
99瓷氧化铝刚玉管
炉管尺寸
φ60/80/100*/1000mm
工作温度
≤1600℃
温度
1650℃
恒温精度
±1℃
升温速度
≤10℃/min
测温元件
b型热电偶
密封方式
不锈钢水冷kf法兰挤压密封
zk
真空系统
zk-f
zk-k
真空范围
0.1-0.001pa
0.1-0.01pa
极限真空
5.0*10^-5pa
5.0*10^-4pa
产品配置
双级旋片真空泵+分子泵
双级旋片真空泵+扩散泵
冷却方式
风冷
水冷
抽 速
110l/s
100l/s
测量方式
复合真空计
真空规管
电阻规+电离规
zdc-i
压强控制系统
测量范围
1*10^5～1*10^-1 pa
稳压
(真空)范围
1*10^3～1*10pa
压力
(稳定精度）
±3%
控制范围
2.5*10^3～5*10^-1 pa
控制精度
± 1%
hqz-ⅲ
混气系统
控制方式
d07-7k质量流量计,d08流量显示仪
流量规格（可订制）
0－500sccm /0－1slm,
线 性
±1%f.s.
准确度
±1%f.s.
重复精度
±0.2%f.s.
响应时间
≤2sec
耐 压
3mpa
气路通道
3通道（根据客户需求）
针 阀
316不锈钢
管 道
φ6mm不锈钢管
接 口
swagelokφ6mm