氦质谱检漏仪 asm 340
对氦气的最小检测漏率 5 • 10-13 pa m3/s
检测模式 真空模式和吸枪模式
检测气体 4he, 3he, h2
启动时间 约3 min
对氦气的抽气速度 2.5 l/s
进气口最大压力 25 hpa
前级泵抽速 15 m3/h
重量 56 kg
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