干涉仪标准镜头

是否进口产地乾曜
加工定制类型激光干涉仪
品牌乾曜型号Fxx
用途待测球面的R/D(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的F数,才能实现全口径测量;建议选取F数最接

球面标准镜头
乾曜光学提供普通精度的球面标准镜和超精密球面标准镜,有效口径有150mm(6英寸),100mm (4英寸), 60mm,30mm。150mm和100mm口径镜头与zygo通用,60mm和30mm口径镜头与富士通用。
超精密球面标准镜为代理国外产品,精度达pv<λ/40(λ=632.8nm)。精度测试文件储存为zygo干涉仪的标准数 据格式,在zygo干涉仪的数据中能够移除标准球面的误差,以达到测量。
选配要点:
待测球面的r/d(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的f数,才能实现全口径测量;建议选取f数***接近(略 小于)被测面r/d值的球面镜头。
凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径;凹面的测量范围受限于测试腔的 长度(也即是仪器导轨的有效移动距离)与宽度(也即是载物台的横向尺寸)。
普通精度球面标准镜技术参数:
型号
有效口径
材料
精度 (λ=633nm)
qy-150-fxx
152.4mm(or 6 inches)
熔石英 (corning 7980)
pv<λ/10
qy-100-fxx
101.6 mm(or 4 inches)
熔石英 (corning 7980)
pv<λ/10 和 pv<λ/20
qy-60-fxx
60mm
熔石英 (corning 7980)
pv<λ/20
qy-30-fxx
30mm
熔石英 (corning 7980)
pv<λ/20
qy-25-fxx
25.4 mm(or 1 inches)
熔石英 (corning 7980)
pv<λ/20
超精密球面标准镜技术参数
型号
有效口径
材料
精度 (λ=633nm)
qy-150-afxx
152.4mm(or 6 inches)
熔石英
pv<λ/40
qy-100-afxx
101.6 mm(or 4 inches)
熔石英
pv<λ/40
球面标准镜头规格表
适用干涉仪
f数
标准面曲率半径(mm)
曲率半径测量范围(mm)
测量口径(mm)




g150
qy-150-f0.8
80
8~80
8~
100
卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。
qy-150-f1.1
123.3
12~123.3
12~
112
qy-150-f1.5
187
19~187
19~
125
qy-150-f2.2
303
30~303
30~
137
qy-150-f3.3
470
47~470
47~
142
qy-150-f5.5
808
81~808
81~
145
qy-150-f7.3
1075
108~1075
108~
145
qy-150-f11
1656
166~1656
166~
146
qy-150-f15
2271
227~2271
227~
146
qy-150-f25
3783
378~3783

146
qy-150-f30
4560
456~4557

146
qy-150-f45
6814
681~6814

146
g150d
qy-150-f0.8
80
8~75
8~480(624)
93
200 (240)
qy-150-f1.1
123.3
12~118.3
12~660(858)
107
200 (240)
qy-150-f1.5
187
19~182
19~900(1080)
121
200 (240)
qy-150-f2.2
303
30~300
31~1097
136
200 (240)
qy-150-f3.3
470
47~467
47~930
141
200 (240)
qy-150-f5.5
808
81~805
81~592
143
101
qy-150-f7.3
1075
108~1072
108~325
146
44
qy-150-f11
1656
256~1653

146

qy-150-f15
2271
871~2268

146

qy-150-f25
3783
2383~3780

146

qy-150-f30
4560
3160~4557

146

qy-150-f45
6814
5414~6811

146

g100
qy-100-f0.65
38
4~38
4~
58
卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。
qy-100-f0.75
45
5~45
5~
60
qy-100-f1.0
65
7~65
7~
64
qy-100-f1.5
121
12~121
12~
76
qy-100-f2.2
191
19~191
19~
80
qy-100-f3.3
298
30~298
30~
85
qy-100-f5.0
490
49~490
49~
97
qy-100-f7.1
682
68~682
68~
95
qy-100-f10.7
1039
104~1039
104~
96
qy-100-f15
1515
151~1515
151~
99
qy-100-f25
2500
250~2500
250~
99
qy-100-f45
4500
450~4500

99
qy-100-f10d
1025

1025~

qy-100-f15d
1500

1500~

qy-100-f25d
2500

2500~

qy-100-f45d
4500

4500~

适用干涉仪
f数
标准面曲率半径(mm)
曲率半径测量范围(mm)
测量口径(mm)




g100d
qy-100-f0.65
38
4~33
0~292(468)
50
150 (240)
qy-100-f0.75
45
5~40
0~337(540)
53
150 (240)
qy-100-f1.0
65
7~60
0~450(720)
60
150 (240)
qy-100-f1.5
121
12~116
0~675(1080)
77
150 (240)
qy-100-f2.2
191
19~188
0~990(1209)
85
150 (240)
qy-100-f3.3
298
30~295
1102
89
150 (240)
qy-100-f5.0
490
49~487
0~910
97
150 (182)
qy-100-f7.1
682
68~679
0~718
95
100
qy-100-f10.7
1039
104~1036
0~360
96
33
qy-100-f15
1515
152~1512

99

qy-100-f25
2500
1100~2497

99

qy-100-f45
4500
3100~4497

99

qy-100-f10d
1025

1028~2425

150 (240)
qy-100-f15d
1500

1503—2900

150 (196)
qy-100-f25d
2500

2503—3900

150 (157)
qy-100-f45d
4500

4503—5900

130
注: 
1、 qy-150-xx系列镜头适用于g150系列干涉仪;qy-100-xx系列镜头适用于g100系列干涉仪;qy-60-xx系列镜头适用于g60系列干涉仪;qy-30-xx系列镜头适用于g30系列干涉仪。
2、测量凸面曲率指与镜头标准面贴合时的被测曲率。
3、表中()内数据为使用特殊夹具时,对应g150d,g100d,g60d和g30d时的数据。 
4、可检查***小口径以及***小曲率半径根据被检物的形状而异。

上海乾曜光学科技有限公司
杨先生
17701685665
上海 上海 嘉定区 恒永路328号联东U谷59号楼