hwgk0133x-18紫外线光刻箱，配备电子电源，无级调光，主要用于光刻胶测试，中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和小批量生产测试。无紫外线泄露，可以最好的保护人体不受紫外线伤害的uv光刻箱，自动旋转托盘，全方位多角度平行光照射，无照射盲区。
设备组成
uv光源+光刻箱+自动转盘+电源控制器
采用模块型设计
采用模块型设计，可手持、固定、箱式使用。
uv灯头
包含一个长寿命的高压汞灯，发射出uva（300-400nm），主光强度分布均匀。灯泡寿命为1000小时。
uv光刻箱
设备包含光刻箱，带有箱门，开关方便，在元件的光刻过程中，能够保护用户免受紫外辐射。
内置遮光型手动快门（工作时无紫外线泄露）
设备集成可伸缩遮光型手动快门，确保光刻的优良重复性，保护用户开关光刻箱门时免受紫外辐射。
可调速自动旋转托盘
设备集成可调速自动旋转托盘，光刻效果更好,更彻底。
无级变光(光强可调）
灯管发光强度可以40%~100%，无级调节灯光强度，特别适合科研和工业生产。
反光内壁
光刻箱内有反光的内壁结构以及优化设计的反光镜，可保证达到均匀照射效果。
强制风冷系统
光源、电源、光刻箱都集成冷却风扇，使得系统在散热良好的环境工作，增加了系统可靠性。
类别
项 目
参 数
尺寸
外型尺寸（l×w×h）
615×415×615mm
光刻箱内（l×w×h）
330×345×330mm
灯管
灯管名称
高压汞灯
功率
450~1700w 无级调光
极限功率密度
<250mw/cm2
波峰值
365nm
曝光面积：
≥φ150mm
旋转托盘
功率
10w
最低速度
1圈/分钟
最高速度
6圈/分钟
箱内托盘
360度旋转，速度可调
电源
电源需求
220v
整机功率
1800w
重量
光刻箱体
29kg
电源箱
4kg
灯箱
5kg
总重量
38kg
保定市中和机械设备制造有限公司
17325290682
中国 保定