产品名称：钽溅射靶
执行标准：b708-98
圆靶材规格：直径（25-400）mm *厚度(3-28)mm、
方靶材规格：厚度(1-12.7)mm*宽度(10-600)mm*长度(200-2000)mm
公差：直径公差+/- 0.254
牌号：ro5200, ro5400, ro5252(ta-2.5w),
ro5255(ta-10w)
纯度：≥99.9%
再结晶：最少95%
晶粒度：最小40μm
表面粗糙度：ra 0.8 最大
平整度：0.1mm or 0.10% 最大.
成份：
牌号
主要成份
杂质含量 不大于%
ta
nb
fe
si
ni
w
mo
ti
nb
o
c
h
n
ta1
剩余
——
0.005
0.005
0.002
0.01
0.01
0.002
0.04
0.02
0.01
0.0015
0.01
ta2
剩余
——
0.03
0.02
0.005
0.04
0.03
0.005
0.1
0.03
0.01
0.0015
0.01
tanb3
剩余
＜3.5
0.03
0.03
0.005
0.04
0.03
0.005
——
0.03
0.01
0.0015
0.01
tanb20
剩余
17.0～23.0
0.03
0.03
0.005
0.04
0.03
0.005
——
0.03
0.01
0.0015
0.01
ta2.5w
剩余
0.005
0.005
0.002
3.0
0.01
0.002
0.04
0.02
0.01
0.0015
0.01
ta10w
剩余
0.005
0.005
0.002
11
0.01
0.002
0.04
0.02
0.01
0.0015
0.01
我司可提供质量优良的钽靶材。纯度为3n5到5n，晶粒度致密性好，使用性能稳定。
应用：钽靶主要应用于半导体和磁记录等薄膜溅射行业。
如有特殊要求，双方具体商定。联系人：张女士；电话：18309179018；欢迎致电！
宝鸡市天瑞有色金属材料有限责任公司
18309179018
中国 宝鸡