应用方向：pd/apd芯片筛选测试，gaas射频芯片s参数测试，mems晶圆管芯筛选测试等。
aps-2000半自动测试探针台针对8英寸晶圆片测试而设计的一体化在片测试解决方案，同时可提供射频微波、高压大电流测量能力。 探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散，同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。为了保证高压测试的人身安全，aps-2000探针台采用了安全互锁系统机构和测试系统级联。
automap探针台控制软件简单直观控制载片台xyz三向的步进移动，wafer图形分布描述，芯片图像对准，坐标定位等功能，同时配置经典的四向迷你位置操作键盘。
ate2.0晶圆参数自动化测试软件可控制多种测试仪器，包括半导体参数分析仪、网络分析仪、阻抗分析仪等，支持tps200、aps-1500、faps-1500自动化测试探针台，实现晶圆在片的自动化批量筛选测试。
主要功能：
wafermap图描述：采用工业相机，通过图像算法实时扫描wafer并对die进行对准
chuck控制：automap软件或经典键盘多向操控chuck移动
wafer图形模式：圆形、阵列、环形、探边多种形式式，可自定义学习模式。
die坐标查询：实时显示更新die相对坐标
打点方式：喷墨，离线打点、异步打点
测试接口：ttl电平、rs232、gpib、以太网
支持探针：直流钨探针、rf探针、高压探针，大电流探针
支持仪器：keysight 源表、网络分析仪、lcr表；keithley 2400,6487,2600b等
支持软件：ate2.0参数测试软件
硅科锐达信息技术成都有限公司
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