二维材料设备CVD系统

产品详细介绍设备描述：
此款cvd系统前端配有可加热到400℃的预加热器，辅助二维材料蒸发，后端为双温区管式炉，温度控制精确，操作简便。并配质量流量计系统和真空系统，可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量，对于做低压cvd实验非常实用，重复性好。
硫粉预热器：
工作温度：400℃
最高温度：1200℃
最快升温速率：≤30℃/min
推荐升温速率：10℃/min
控温方式：智能化30段可编程控制
工作电压：ac220v
额定功率：800w
控温精度：±1℃
加热元件：电阻丝
加热区参数：
额定功率：5kw
最高温度：1200℃
工作温度：1100℃
最大升降温速率：≤30℃/min
炉管尺寸：高纯度石英管φ25\φ50\φ60\φ80\φ100x1650mm  (管径可选)
加热区长度：200+200mm
恒温区长度：290mm
控温方式：模糊pid控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
标准配件：1支，2对，1套，2套，1副，1支；
尺寸：约 550×380×600 mm（炉子）
约：1700×380×620 mm（炉子+滑轨）
可选配单温区、双温区、三温区等加热区。
气路系统参数：
质量流量计参考量程（n2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 sec，电特性：10 sec
工作压差范围：0.1～0.5 mpa
最大压力：3mpa
接口：φ6,1/4''
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管：φ6
压力真空表：－0.1～0.15 mpa, 0.01 mpa/格
截止阀：φ6
连接头类型：双卡套不锈钢接头。
可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。
低真空系统参数：
国产油泵型号：bsv-10
抽速：10m³/h
极限真空度：5*10-1pa
电源：220v 50hz
电机功率：0.4kw
进排气连接口：kf25
用油量：1.1l
电机转速：1440rpm
工作环境温度：5-40℃
噪音：≤56db
电阻真空计参数：
1.配用规管：zj-52t电阻规，
2.测量范围： 10 5 ～10 -1 pa，
3.测量路数： 1路
4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 pa，
5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 ac220v/3a (或dc28v/3a)无感负载，
6.电源： 90-260v/50hz或220v ± 10% 50hz，
7.功耗： 20w
使用注意事项
炉管内气压不可高于0.02mpa 。  当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。石英管的长时间使用温度＜1100℃。对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02mpa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。