ltp-50:
ltp-50 变温真空腔探针台系统方案：高低温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中。
载片台
直径2" ，具有guard保护功能，温控稳定时间小于30分钟
载片台温度范围
80k-475k
观察窗
直径40mm，样品到显微镜物镜最小距离8mm
真空腔真空度
< 5x10-4torr，配隔振水平安装底座
外置探针座
三维调节范围
±5mm（x、y、z）
分辨率
5μm，多探针座具有同时升、降（接触/分离0.66mm）功能设计
探针接头
三同轴triaxial tubular-2.0插头连接，具有guard保护功能，适合fa级测试，50欧姆传输阻抗
控温仪
四通道，可同时对样品台、防辐射屏和探针臂进行控制和监视
显微镜调节机构
具有多维度调节，x方向± 45mm，y方向± 45mm，z方向30mm，整体后仰角20 º可调，显微镜的前后倾角为30度
光学观测系统
三目体视显微镜（分辨率小于5μm）、同轴灯和环形灯及电源、配接130万像素彩色ccd、20″彩色监视器
ltp100:
应用方向：硅基芯片、gan功率芯片、gaas射频芯片、有机材料器件等
变温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中。
变温真空腔探针系统专为显微镜、成像和高空间分辨的光致发光等实验设计。低膨胀系数的材料结合内部隔振措施使样品振动和漂移水平低至纳米量级，紧凑设计提供短工作距离，满足高倍放大的短焦距显微物镜的要求，易于匹配各种显微镜和平移台。
变温真空腔探针系统标配高效传输管线，将液氦或液氮连续输送到恒温器的两级环形热交换器进行汽化，将固定在热交换器上的样品座冷却。变温真空腔探针系统恒温器重量轻，固定方便，可在任何方向工作，紧凑型结构便于进行反射和投射实验。可定制样品座尺寸、通光口大小、样品座到窗口的距离等。
硅科锐达信息技术成都有限公司
18581863311
中国 成都