弗炉煅烧的原理
煅烧：在一定温度下，于空气或惰性气流中进行热处理，称为煅烧或焙烧。
煅烧是天然化合物或人造化合物的热离解或晶形转变过程；此时化合物受热离解为一种组分更简单的化合物或发生晶形转变。碳酸盐的热离解称为焙解。煅烧作业可用于直接处理矿物原料以适于后续工艺要求，也可用以化学选矿后期处理而制取化学精矿，满足用户对产品的要求。
煅烧过程主要发生的物理和化学变化有：
(1)热分解。除去化学结合水，co2，nox等挥发性杂质，在较高温度下，氧化物还可能发生固相反应，形成有活性的化合状态；
(2)再结晶，可得到一定的晶形、晶体大小、孔结构和比表面；
(3)微晶适当烧结，以提高机械强度。 影响煅烧过程的主要因素： 煅烧温度、气相成分、化合物的热稳定性等。因此根据各种化合物（如碳酸盐、氧化物、氢氧化物一硫化物、含氧酸盐等）的热稳定性不相同，采用控制煅烧温度和气相组成，可以选择性改变某些化合物的组成或发生晶形的转变，再用相应方法处理，可以达到除去杂质和使有用组分离富集的目的。
回转式空气预热器的优缺点：
优点：换热表面上冷凝的酸液量和硫酸浓度不断变化，露点腐蚀比管式空气预热器轻；快速流动的空气可以起到一些吹灰作用，减少了积灰；因换热元件连续转动，只一个单孔摆动吹灰器，就可以吹到冷端截面上各个部位的积灰；便于对腐蚀后的元件进行更换或调换放置位置。
缺点是有转动部件，故漏风量较多，能耗大，制造要求较严格，造价较高。
反应室中的反应是很复杂的，有很多必须考虑的因素，沉积参数的变化范围是很宽的：反应室内的压力、晶片的温度、气体的流动速率、气体通过晶片的路程(如图所示)、气体的化学成份、一种气体相对于另一种气体的比率、反应的中间产品起的作用、以及是否需要其它反应室外的外部能量来源加速或诱发想得到的反应等。额外能量来源诸如等离子体能量，当然会产生一整套新变数，如离子与中性气流的比率，离子能和晶片上的射频偏压等。
然后，考虑沉积薄膜中的变数：如在整个晶片内厚度的均匀性和在图形上的覆盖特性(后者指跨图形台阶的覆盖)，薄膜的化学配比(化学成份和分布状态)，结晶晶向和缺陷密度等。当然，沉积速率也是一个重要的因素，因为它决定着反应室的产出量，高的沉积速率常常要和薄膜的高质量折中考虑。反应生成的膜不仅会沉积在晶片上，也会沉积在反应室的其他部件上，对反应室进行清洗的次数和彻底程度也是很重要的。
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