方法的优缺点比较
各种方法都有其有缺点：从大的方面讲，直接pecvd法对样品表面有损伤，会增加表面少子的复合，但是也正是由于其对表面的轰击作用，可以去除表面的一些自然氧化层，使得表面的杂质原子得到抑制，另外直接法可以使得氢原子或氢离子更深入地进入到多晶硅晶界中，使得晶界钝化更充分。
使用不同频率的pecvd系统，也各有一定的优缺点：
（1）频率越高均匀面积越小，越难于达到大面积均匀性。
（2）频率越低对硅片表面的损伤越严重。
（3）频率越低离子进入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的钝化。
管内气液两相流压力降确定的复杂性：
(1)气液两相流没有直接的类似于摩擦系数与雷诺数之间的关系。
(2)气液相流速不同，存在相对运动，产生内摩擦损失而使压力降低。
(3)由于液相滞留量存在，管内实际流通截面积减小，会使压力降增加。
(4)在垂直管内，液相连续不断的上升和下降，也会消耗能量而形成压力降。
炉管内气液两相流的适宜流型：
炉管内汽液两相流的流型最.好是雾状流(不允许出现液节流)；
泡点附近允许出现环状流或分散气泡流，除此之外，其它流型均应避免；
当定位点表示的流型完全不符合要求时，可以缩小炉管直径或加大注入的水蒸汽量来获得适宜的流型。
管式气氛电阻炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业设备。
优点：工艺成熟;炉型结构简单；操作容易，便于控制，能连续生产；乙烯、丙烯收率较高，产物浓度高；动力消耗少，热效率高；裂解气和烟道气的大部分可以设法回收；原料的适用范围随着裂解技术的进步而日渐扩大；可以多炉组合而大型生产。
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