'（1） 设备规格：内腔尺寸650x700mm，真空室体采用不绣钢制成。
（2）设置一套6轴公自转机构，每轴自转最大圆径170mm，每轴自转机构最大可挂镀一件平板夹具，规格500mmx190mm,面积约0.095平方米，6件合计0.57平方米。转架用不绣钢材料制成，可自由拆卸。
（3） 真空工作室配一套不绣钢衬板，便于拆卸清洗。
（4） 配套真空机组：a:k-400t高真空油扩散泵一台，配电5kw
b:2ⅹ-30型旋片泵一台，配电3kw
c: :2ⅹ-4型旋片泵一台，配电0.75kw。抽真空周期从大气常压至4x10-2帕不大于6分钟（即可进入镀膜程序）。
（5） 电控系统：具备自动/手动双控功能。采用触摩屏plc实现程序智能控制。镀膜工艺可设置多种程序，适应不同镀膜件工艺要求。
（6） 关键配套电器泵件（如交流接触器）选用法国施耐德品牌产品。
（7） 配一台15kw磁控电源。一套磁控靶总成靶面规格：640x125mm,靶材为铝靶材，厚度10mm。
（8） 配一套蒸发镀铝机构，功率5kw。
（9） 只选用蒸发单功能机，报价：8.5万元。
加配磁控溅射功能：单靶报价：4万元（配铝靶材，靶材多配1条备用）。
（10）每条靶面前设置一个遮挡装置。当镀不同靶材时，镀靶处于遮挡状态避免污染该靶面。
注：a、选用蒸发式镀膜6分钟即可完成一个工作周期。
b、选用磁控溅射式镀膜需10-15分钟完成一个工作周期。
c、实际总装机耗电每小时12kw。
d、用电装机容量30kw。
2．交货期
甲方在收到乙方所付定金之日起40个工作日后交货。
3．售后服务条款
1）甲方实行一年三包期。a.包安装调试 b.包设备在正常情况下使用所出现故障的维修工作，其中包括负责联系及协助生产厂家对外购配套机电设备履行三包责任。
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肇庆市鼎湖区均益机械设备有限公司
马树坤
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