平面研磨机当主轴转速小于200rpm时,由于塑性功较低,产生热量少,加上研磨液的及时冷却,工件表面温度较低,因此这时机械变形起主要作用,使加工硬化程度提高。在研磨过程中，用氧化铬作磨料的研磨剂涂在研具的工作表面，由于磨料比研具和工件软，因此研磨过程中磨料悬浮于工件与研具之间，主要利用研磨剂与工件表面的化学作用没有按着工件被研表面的大小和高度比例来确定运动的速度和方向，或者没有放在工件的中间位置而导致工件强制受力或着力不均等。在研磨中，由于研磨平板中间的磨损比边缘大，则很容易使研磨平板表面形成凹形。
平面研磨机的研磨盘平面度是研磨的基准，是得到精密工件平面的保证。在研磨的过程中，研磨盘的平面度会下降，主要原因研磨盘的内外线速度不同，磨损不一致造成。研磨盘需定期修整平面。修整的方法有两种：通过修整机构修面后，也可获得较好的平面度，这种修整的原理与车床原理一致，研磨盘旋转，一个可前后运动的刀在刀杆的带动对研磨进行切削获得平面，务必达到±0.001mm 生产出来的产品才能更好的保证质量是采用基准平面电镀金刚石修整轮来修面，由于电镀金刚石修整轮基本不磨损，可得到较高的平面度。
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