无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:
对于300000级空气净化处理,可采用亚高、效过滤器代替高、效过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高、效过滤器三级过滤器;中、效或高、效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;
中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;
高、效或亚高、效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
无尘车间的生产类别具体分类如下:
a类:①磁带涂布烘干工段;②有丁酮、丙酮、异丙酮等易燃化学品的储存、分配间;③有可燃/有毒气体的储存、分配间。
b类:①印制线路板厂的贴膜曝光间、检验修版间;②彩色荧光粉的蓝粉着色间。
c类:①半导体器件、集成电路工厂的外延间、化学气相沉积间、清洗间;②液晶显示器件工厂的cvd间,显影、刻蚀间,模块装配间,彩膜生产间;③计算机房记录数据的磁盘存储间;④彩色荧光粉长的生粉制造间;⑤荫罩厂(制版)的曝光间、显影间、涂胶间;⑥磁带装配工段;⑦集成电路工厂的氧化、扩散间、光刻间,离子注入间,封装间。
d类:①电真空显示器件工厂的装配车间、涂屏车间、荫罩加工车间、屏锥加工车间;②半导体器件、集成电路工厂的拉单晶间,蒸发、溅射间,芯片贴片间;③液晶显示器件工厂的溅射间、彩膜检验间;④光纤预制棒工厂的mcvd、ovd沉积间,火抛光、芯棒烧缩及拉伸间、光纤拉丝区;⑤彩色荧光粉厂的蓝粉、绿粉、红粉制造间。
e类:①半导体器件、集成电路工厂的切片间、磨片间、抛光间;②光纤、光缆工厂的光纤筛选、检验区、光缆生产线。
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