蒸馏水：就是将水蒸馏、冷凝的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。有时候为了特殊目的，在蒸前会加入适当试剂，如为了无氨水，会在水中加酸；低耗氧量的水，加入高锰酸钾与酸等。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水，一般普通蒸馏取得的水纯度不高，经过多级蒸馏水，出水才可达到很纯，成本相对比较高。
电子级水技术指标 gb/t 11446.1-1997
指标/级别 ew-i ew-ii ew-iii ew-iv
电阻率m ω·cm(25℃) 18以上(95%时间)不低于17 15(95%时间)不低于13 12.0 0.5
全硅，最大值， μg/l 2 10 50 1000
1 μm微粒数， 最大值， 个/ml 0.1 5 10 500
细菌个数，最大值，个/ml 0.01 0.1 10 100
铜，最大值， μg/l 0.2 1 2 500
锌，最大值， μg/l 0.2 1 5 500
镍，最大值， μg/l 0.1 1 2 500
钠，最大值， μg/l 0.5 2 5 1000
钾，最大值， μg/l 0.5 2 5 500
氯，最大值， μg/l 1 1 10 1000
硝酸根，最大值， μg/l 1 1 5 500
磷酸根，最大值， μg/l 1 1 5 500
硫酸根，最大值， μg/l 1 1 5 500
总有机碳，最大值， μg/l 20 100 200 1000
水质检测报告