MEMS VOA光衰减器的工作原理


mems微镜型voa中的wdl问题
基于mems shutter和mems微镜的voa均有广泛应用,前者性能指标较好,但装配工艺相对复杂;后者易于装配但wdl(波长相关损耗)相对较大。在宽带应用中,此类voa会对不同波长产生不同的衰减量,此现象定义为wdl。宽带应用中,要求wdl指标越小越好。
wdl问题源于单模光纤smf中的模场色散,我们知道,光纤中的不同波长具有不同的模场直径,长波的模场直径更大一些。图4所示为光纤中模场的色散情况。
图4. 光纤中模场色散情况
如图4所示,光束被mems微镜反射偏转,不同波长的的光斑均偏离出射光纤的纤芯。在未经优化的voa中,所有波长的光斑具有相同的偏移量。如式(1),衰减量a取决于偏移量x和模场半径ω。
(1)在一个相对有限的波长范围内,如c波段(1.53~1.57μm),单模光纤中的模场色散情况可以式(2)作线性近似处理[3]。
(2)对于常用的康宁公司smf-28型单模光纤,上式中的系数为a=5.2μm、b=3.11@λc=1.55μm。当中心波长λc处的衰减量ac给定时,得到光斑的偏移量xc如式(3)。
(3)综合式(1-3)可得到波长范围λs~λl内的wdl如式(4),其中下标s, c, l分别代表波段范围内的短波、中波和长波。
(4)根据式(4),当voa的衰减量ac设置越大时,光斑的偏移量xc也越大,因此会产生更大的wdl,如图5, 图6所示。根据图6,在衰减范围0~20db和波长范围1.53~1.57μm之内,最大wdl可达0.96db。商用mems voa可测得最大wdl为1.5db,这是因为光学系统色散的影响,造成不同波长的光斑在输出光纤端面的偏移量不同。这种情况与图4所示情况不同,在图4中,所有光斑具有相同的偏移量。
图5. 对应不同衰减水平的wdl
图6. 对应不同衰减水平的wdl