PVD连续真空镀膜生产线

  • 加工定制:
  • 品牌:纳峰
  • 电镀位置:真空镀膜
  • 镀种:真空镀膜
  • 提供加工定制:是
  • 型号:PVD连续真空镀膜生产线
  • 适用范围:
  • 产品别名:PVD连续真空镀膜生产线
  • 电镀电源:
  • 镀膜材质:
  • 镀膜原理:
  • 规格:

¸基体最大尺寸
         <3m (l) x 1.5m (h) 平板状基材
¸高均匀性范围内有效镀膜高度
         <1.5m (均匀性为± 5%)
¸高生产效率
        效率高达1分钟/片 (<1.2mx 1.5m)
¸独特的真空传输装置
        可立式平稳传输厚度薄达3mm的超大平板玻璃 
¸90度全立式传输设计
        避免工艺中杂质掉落污染玻璃基材,大幅提高量率
¸先进的磁控溅射源设计
        在确保大面积镀膜均匀性的条件下,靶材使用率大大提高
        溅射靶可由直流、中频或射频电源驱动
¸先进的工艺真空室设计
        所有真空室为模块化设计,数目可根据具体应用增减
        每个工艺室装备一对平面溅射靶或圆柱靶
        高达300°c的真空加热系统
        数字闭环pid真空控制系统,配合精密阀门,准确稳定工艺真空到设定值

纳峰真空镀膜(上海)有限公司
沈蓉
18017150832
青浦区华纺路99弄99号