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而是直接侧翻倒地。沿用这一科学原理，隔振厂商需要了解平台的重心位置。让这些支持点在[图2]的范围之内。然而，运动平台会有一个工作行程，在xy轴移动的时候，顺带会把重心带到其他地方，所以隔振的厂商需要平台厂商告知行程范围，[案列]恒温计量施工技术方案（2）。第二节、分析。恒温恒湿实验室系统主要来自新风、、物流、设备运行、围护传热等，从控制的角度分析是破坏热质平衡的变化量，本项目属于高精度实验室。围护保温完善，并且采用四面回风夹道设计，室外温度变化对室内影响极小。、物流、设备运行可以通过管理限制量。
精密仪器的隔振_超高真空stm的减振事例（1）_光学平台厂商
超高真空室内的stm(扫描型隧道显微镜)的减振事例
加振振动试验，或者模态分析是有效的，以下是对扫描型电。子显微镜(以下。略称sem)进行加振振动试验和sem镜筒部位的模态分析结果，加振振动试验是将sem整体搭载到加振装置上，边从低处向着高处扫描值边给予正。弦波振动，同时收集sem图像。观察对象是预先选择的知道形状的试验料的边界。边界的分界线必须被观测到成直线。但受到振动的影响图像混乱不能观测到直线，如果，边改变值边给予sem能使振动加速度能保持几乎一定水准的振动加速度。可以知道达到，某个值时边界的图像会产生很大的混乱，(图1)， 还有。如果对镜筒部进行模态分析的话。
事例】
stm有必要在超高真空下使用时，至今一般只有对真空室整体
进行减振的方法，但为了减小真空室本身的振动特性的影响，就有
了必要对stm进行直接减振。
【对策要点】
为了在超高真空内使用，没有外部气体，备有设置资料等的夹
钳结构，必须要有能充分除掉低振动的减振台。
原因
扫描型隧道显微镜(stm)是在1980年代初期，由旧m苏黎士研究所binnig和rohrer
发明的。stm从那时开始就与除振有剪也剪不断的关系，我想一定还有很多读者记得刊登在
当时的科学上的带有使用了线圈弹簧和。型圈的特殊除振结构的stm装置的照片。现在，
不仅在大气状态下，也需要能在真空状态下使用的除振装置，因为完成了能那需求的一
种方法，在此进行介绍。
对策
在大气中选定减振台时因为有各种各样的选择方案，所以决断并不是那么困难。但设置
在真空室内并且必须直接搭载stm等的会却有几个制约，是个难题。
有【外部气体]的问题。抽真空是为了不受来自大气和其他成分影响的
防振台本身也不能有外部空气。并且，为了不使实现超高真空困难，也有必要注
意构成除振装置的材料的选定和加工方法。
日本明立一直走在前列。从上世纪68年时就推出针对机stage的减震系统了，是日本早的行业品牌，比美国还要早几年，简单来说运动平台的振动问题不只是隔振的厂家能解决的问题，而需要运动平台厂商共同设计，因为运动平台设计的运动速度，直接影响平台的收敛时间，若是收敛时间设定的非常短就可能出现，次晃动都还没结束第二次晃动又开始了，动能无法消散累加共振，另外,平台晃动的程度是根据重心位置来决定的，试想一下，如果平台呈金字塔形。重心一直在平台大理石中心底部，台面上产生一些振动就不会造成多大的晃动，但是相反。如果把这个平台倒过来那根本就不是会晃动的问题了。
第二是〔热能〕。抽真空时，通常要加热到} oo-r} 5o0c，要求是能经受那温度，而且
除振性能不会发生障碍。在这样的条件下除振装置会成为主要由用不锈钢材料制成的金属
弹簧来构成的产品，但一般使用金属弹簧时，垂直方向的固定振动只能降低到3hz前后，
因此制作能在超低振动范围内很好地切断振动的减振台是非常困难的。
净化工程设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施，3、净化工程设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件，4、净化工程设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的标准、规范的有关要求，二、净化工程等级，1、 空气洁净度应按规定划分为五个等级，10级，级 。级。1级，10级，注对于空气洁净度为100级的净化工程内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样，当其多次出现时。方可认为该测试数值是可靠的，2、净化工程空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。
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