我国的空气洁净工程技术起始于20世纪50年代中期，至今大致经历了四个发展阶段:
(1)从20世纪50年代中期到60年代中期，主要借鉴前苏联的技术，服务于国防、航天、原子能工业与科研。与现代洁净工程技术相比，在厂房、设备、气流组织等各方面还都比较原始和粗糙，属于起步阶段。
(2)从20世纪60年代中期到70年代后期，由于国内外的种种原因，主要靠自力更生发展。当时参照了美国和日本的标准和技术，逐步研制成高效过滤器和钠焰法试验台(1965年)、洁净工作台(1967年)、粒子计数器(1974年)、装配式洁净室(1976年)及其他洁净室附属设备(风淋门，风淋室、传递窗)，编制了“空气洁净技术措施”，奠定了我国洁净技术的基础。
(3)从20世纪70年代末到80年代末，由于实行了改革开放的国策，发达国家的技术与设备开始进人我国市场，现代洁净工程技术在我国的大规模集成电路、光导纤维、彩色显像管、液晶显示屏等工业洁净领域得到迅速发展，装备0.1um高效过滤器的10级洁净小室(1986年)和无隔板过滤器(1989年)研制成功。同时在医疗、制药、生物、化妆品与食品行业生物洁净室也得到应用，一些制药厂对原有空调系统的改造中开始采用生物洁净技术(1978年)，简易的水平“单