硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些更高级的硅氢化合物。目前应用zui多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
恩尼克思GS10-LEL单一测爆仪，便携式可燃气体检测仪，手持式可燃气体报警仪，燃气泄漏检测仪
GS10-SIH4硅烷检测仪参数：
检测范围：0―50ppm，分辨率：0.1ppm
GS10-SIH4硅烷检测仪特点：
恩尼克思单一气体检测仪可配用电化学、红外、催化燃烧或PID传感器构成单气体检测仪。
超大LCD显示屏带超亮背光便于阅读。
GS10系列单一气体检测仪不仅可以实时显示危险气体的浓度，对于有毒气体还可以计算TWA和STEL值，并根据指令在LCD上显示出来。
仪器还具备数据记录功能，长达1000小时的数据记录，可使您更好的了解工作环境的变化和仪器的使用情况。
内置的红外通讯端口，可让您方便地通过电脑读