浅析环境因素对激光干涉仪测量精度的影响(上)


----------------------关于环境因素----------------------


影响激光干涉仪测量精度的环境因素主要指:


1、当前测量环境下的空气温度、湿度、大气压力,影响在空气中传播的激光波长。


2、被测工件温度,影响被测对象的热膨胀量。本文不做分析,将在下篇细述。


--------------------关于激光干涉仪--------------------





激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪,二者都是采用外差干涉原理,而区别在于计算公式,如下所示:


单频激光干涉仪,线性测量的计算公式:L=Nλ/2,其中L为位移,N为干涉条纹数目,λ为激光波长。


双频激光干涉仪,线性测量的计算公式:





其中L为位移,t为时间,△f为由于运动而引起的频移,λ为激光波长。


------------------激光波长影响分析------------------


结合激光干涉仪两个线性测量的公式同时进行分析: