微位移振动测量 压电驱动器微位移振动测量,磁致伸缩位移,生物力学形变
精确定位 lamost光纤定位,平面的定位等
旋转体跳动测量 机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等
透明体厚度测量 玻璃厚度,透镜厚度,膜厚,水膜厚度等
轮廓/3d形貌测量 透镜轮廓扫描,磨损量测量,3d形貌扫描等
thinkfocus 光谱共焦厚度扫描仪 tm-1000应用特征
非接触式厚度测量
透明、非透明样品均可测量
可以获得ttv,*,ra等分析数据
精度可达0.1μm
thinkfocus 光谱共焦厚度扫描仪 tm-1000 技术参数
传感器采样频率
100-10khz
测头量程
400-10000μm
测量精度
0.1μm
测量厚度范围
>0.1μm
xy平台大小
200×200mm
行程
100×100
速度
14mm/s
分辨率
0.044μm
重复精度
<1.4μm
允许负重
10kg
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