| 加工定制是 | 品牌KYVAC |
| 型号AZO ITO | 用途高真空ITO 箱式镀膜 |
| 别名高真空ITO 箱式镀膜 | 规格生产线 |
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本系统为高真空ito 箱式镀膜设备，主要用于沉积azo、 ito 透明导电薄膜，金属薄膜，半导体薄膜等， 也可用于其他功能性薄膜的沉积。
1、双腔室结构（含工艺腔室及进出样室）；
2、溅射样品尺寸约450×250mm；
3、磁控溅射靶四支，其中两支为孪生靶，控制电源为两套直流电源和一套中频电源；
4、配三路气体及相应流量控制器；
5、配备轴向线性往复运动样品台；
6、在线膜厚检测装置；
7、加热及温控系统，保证腔室能够加热至500℃；
北京中科科美科技股份有限公司
乔先生
18611455360
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