编制运用维护操作规程，树立运转记载和修理档案，统计运转累积工作时间，增强日常维护，控制设备技术状态变化趋向，及早发现毛病损坏苗头，防止属于事故抢修性质的热修，并依据电炉子负荷和工作情况，提早有针对性地准备修理用料，编制修理工艺。如合金元件的运用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作状况等许多要素有关，其动摇寿命6000～10000。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
真空气氛炉普通在春秋时节走漏毛病较多，长期闲置时走漏毛病易发作。我厂采取每月一次测压升率(在常温下，关闭一切真空阀，中止真空系统运转，1o后读一个数，1后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，控制设备走漏变化趋向，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次。
在真空气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射剑所疑心的漏点处，察看真空表读数有无变化。也可制造留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，停止检漏。扩散泵有积炭可用化学酸洗的办法清洗。