硬核科普:指甲盖大小的芯片能塞进几千万个晶体管?


近日,因为一系列事情,大家对国内芯片产业的关注度日益增加。一个看起来只有指甲盖那么大芯片,里面却包含着几千万甚至几亿的晶体管,想想就觉得不可思议,而在工程上这又是如何实现的呢?
一切都从“沙”开始
硅一直被称为半导体制造产业的基础,就是因为它能够制成一个叫晶圆的物质,而首先我们需要把硅通过多步净化熔炼后变为硅锭。
然后再用金刚石锯对硅锭进行切割,才会成为一片片厚薄均匀的晶圆(1mm),有时候为了定出硅圆片的晶体学取向,并适应ic制作过程中的装卸需要,会在硅锭边缘切割出“取向平面”或“缺口”标记。切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。
到了这一步,我们就需要一样叫光刻胶的物质去铺满它的表面了,为了使得光刻胶铺的非常薄、非常平,在浇光刻胶过程中晶圆匀速旋转,图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体,类似制作传统胶片的那种。光刻胶层随后透过掩模(mask)被曝光在紫外线(uv)之下,变得可溶,期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成微处理器的每一层电路图案。一般来说,在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。
溶解光刻胶解析:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,把光刻胶全部清除后就可以看到设计好的电路图案啦。
打造基础
继续往下走,我们还需要继续浇上光刻胶,然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。然后就是重要的离子注入过程,在真空系统中,用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过30万千米每小时。离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域也已掺杂,注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。至此,晶体管已经基本完成。
走向成品
接下来的步骤是,在绝缘材(品红色)上蚀刻出三个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。然后我们就可以开始对它进行电镀了,操作方法是在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个薄薄的铜层。
当然上面多余的铜也需要先抛光掉,也就是磨光晶圆表面。然后就可以开始搭建金属层了。晶体管级别,六个晶体管的组合,大约500纳米。在不同晶体管之间形成复合互连金属层,(因为是三维结构, 所有连线要在上部连出),具体布局取决于相应处理器所需要的不同功能性。芯片表面看起来异常平滑,但事实上可能包含20多层复杂的电路,放大之后可以看到极其复杂的电路网络,形如未来派的多层高速公路系统。
接下来就是大约10 毫米/0.5英寸内核级别的晶圆测试,图中是晶圆的局部,正在接受第一次功能性测试,使用参考电路图案和每一块芯片进行对比。对比后就开始晶圆切片,将晶圆切割成300毫米/12 英寸块,每一块就是一个处理器的内核。测试过程中发现的有瑕疵的内核被抛弃,留下完好的准备进入下一步。
这样留下来的芯片,在经过封装,等级测试,正是在这一步,芯片才会被分类成例如i5、i7这些等级,再经过打包后,我们才能在各大品台上见到各种各样的芯片了。