拉晶后氩气的回收方法为:将拉晶后的不纯氩气升压,随后在反应装置中使氩气所中含可燃性成分与氧气或空气反应转变为二氧化碳和水,混合气冷却后送入苛性钠洗涤塔脱除二氧化碳,并在吸附塔中脱水,随后使氩气中残存的氧气与氢气反应变成水,冷却后送入吸附塔脱水,在热交换器中与使用前的高纯液氩热交换,冷却后在蒸馏塔中深冷液化提纯到99.999%
氩气回收工作原理：氩气是大规模工业生产制取单晶硅的主要保护气，是安全生产和控制经营成本必须重视的一个重要方面。将排出含有粉尘杂质的氩气除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压,，经氩气纯化设备。后将净化后的氩气送入使用地点.设备的回收率为90%，氩气纯度可以达到99.999%以上。
氩气净化回收装置是将本来直接排放于大气的含各种杂质的氩气（回收压力略高于大气压）通过初级过滤粉尘及反吹回收装置、精密二级过滤，由压缩机增压，冷冻干燥机脱水，除氧剂除氧、干燥设备深层吸附去除氩气中的微量氧、水份及气体微量杂质，全自动氩气回收净化系统高纯氩气回收提纯设备得到纯度高的氩气，后经贵金属精密过滤器送至工作点使用。
氩气回收设备的特点：采用全自动plc控制、所有管道采用不锈钢、纯化器提纯效率高、回收率高、压缩单元稳定输出、操作方便、性能可靠、维修成本低，有效的降低风险、提供使用的工作效率。
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