伯东pfeiffer检漏仪MOCVD 设备检漏

  • 加工定制:
  • 类型:氦质谱检漏仪
  • 品牌:伯东pfeiffer
  • 型号:ASM 340
  • 测量范围:5x10-12mbr l/s
  • 测量对象:MOCVD 设备检漏
  • 工作温度:10-40
  • 分辨率:99
  • 电源:220V
  • 尺寸:300
  • 重量:56

日本伯东株式会社,成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司,公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业(上海)有限公司的总部在上海,同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。
伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌,代理品牌包含:德国 pfeiffer 全系列真空产品、美国 kri 考夫曼离子源、美国 brooks  polycold 制冷机,美国hva真空阀门,美国 intest温度气流控制设备,日本 ns 离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商,负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海,深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心,可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作,100%使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
氦质谱检漏仪 mocvd设备检漏
上海伯东客户厦门某大型 led 生产企业,近日成功采购6台pfeiffer氦质谱检漏仪 asm 340 用于 mocvd 设备检漏。
mocvd 是在气相外延生长(vpe)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 mocvd生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质,因此在设备出厂时必须要考虑密封性,否则一旦有毒物质泄漏,后果不堪设想!
上海伯东客户厦门某大型 led 生产企业应用实例:
mocvd需要检漏位置:所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏,主要检漏源供给、输运和尾气处理系统(例如管路接头、管道、焊缝等位置)。
根据客户实际需要,mocvd 检漏基本配置:氦质谱检漏仪 asm340 +干式真空泵 acp 28如下图所示:
mocvd 检漏方法:采用真空模式检漏
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 asm340,确认连接完毕
2. 启动 asm 340,进入待机界面;初次启动时间大约 3min,以后启动 < 1min
3. 按下开始键,先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 acp28 抽真空,到达一定压力检漏仪 asm 340开始工作,同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气;若有漏,检漏仪马上报警,显示该喷射点有漏。
4. 检测完毕,按下检漏仪待机键,放气、关闭电源,移除连接管路。
pfeiffer德国普发氦质谱检漏仪 :上海伯东真空产品事业部是德国pfeiffer 指定销售维修中心,我司是国内最早代理 pfeiffer 产品的公司,100% 原装进口并提供 pfeiffer全系列真空产品的售后维修服务。
上海伯东主营产品:德国普发pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 kri 原装离子源,美国hva 真空阀门,polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。
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