日本horibastec-8440f8450高温质量流量控制器
日本horibastec-8440f8450高温质量流量控制器 产品详情
概要
质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需精确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。
特征
它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。
1.适用于高温：可满足150℃烘焙
2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
3.超清洁类型：接气部全不锈钢构造
4.适于mocvd用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制
規格
sec-8340sl 搭载有主体加温加热器
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80〜100℃
sec-8340sm 本体加温ヒータ搭載
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100〜120℃
sec-8440lsl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15〜35℃
sec-8450lsl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 10/20 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15〜35℃
sec-8455lsl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 30/50 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15〜35℃
sec-8460lsl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 50/100 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：15〜35℃
sec-8440lsm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35〜60℃
sec-8450lsm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 10/20 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35〜60℃
sec-8455lsm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 30/50 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35〜60℃
sec-8460lsm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 50/100 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：35〜60℃
sec-8440lsh
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60〜80℃
sec-8450lsh
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 10/20 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60〜80℃
sec-8455lsh
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 30/50 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60〜80℃
sec-8460lsh
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 50/100 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：60〜80℃
sec-8440sl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80〜100℃
sec-8450sl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 3/5/10 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80〜100℃
sec-8455sl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 10/20 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80〜100℃
sec-8460sl
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 20/30/50 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：80〜100℃
sec-8440sm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100〜120℃
sec-8450sm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 3/5/10 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100〜120℃
sec-8455sm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 10/20 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100〜120℃
sec-8460sm
气体接触部材质 sus-316l
阀门类型 no: 非通电时：开
标准流量量程 20/30/50 slm
流量控制范围 2〜100％ f.s.(满量程)
流量精度 ±1.0％ f.s.(满量程) 使用温度：100〜120℃
产品相关图及其它