gp200系列是一款完全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器，专为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺而设计。即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供准确的工艺气体输送。降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。性能特点较低的入口压力操作下游阀结构匹配的瞬态响应。下文小编将为您详细讲解有关《优势供应sporlan流量控制器gp200系列》等内容，欢迎您继续阅读，祝您生活愉快，谢谢~ gp200系列是一款完全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器，专为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺而设计。即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供准确的工艺气体输送。降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。
性能特点 较低的入口压力操作下游阀结构匹配的瞬态响应零泄漏控制阀本地显示指示流量、温度、压力和网络地址通过消除匹配和补偿两个独立压力传感器的要求，gp200 差压技术降低了测量不确定性，从而提高了精度、可重复性和漂移性能。由于 gp200 差压传感器专门针对低压差测量进行了优化，现在使用 p-mfc 可以在较低的入口压力下实现更安全的工厂操作。下游阀门结构确保精度独立于下游压力，使流量能够在高达 1200 torr 的压力下输送。快速关闭阀解决了非生产性配方等待时间或“尾部效应”，这在上游 mfc 阀门设计中可见，需要额外的时间来排出其内部气体体积。快、高度可重复的上升和下降流动稳定时间可在先进的高循环沉积和蚀刻工艺中实现更严格的工艺控制。阀门关闭性能提高 100 倍借助 multiflo tm，mfc 满量程流量范围通常可以按 3:1 的比例重新缩小，而不会影响规格的精度、量程比或泄漏，从而实现工艺和库存灵活性方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除
技术参数 性能：
流量范围（满量程）：3 sccm - 50,000 sccm准确性：零泄漏阀：<±1％s.p.（5-100％f.s.）
<±0.05％f。s.（0.5-5％f.s.）
金属密封阀：<±1％s.p.（5-100％f.s.）
<±0.05％f。s.（2-5％f.s.）
可重复性：<±0.15％s.p.响应时间：280±20 ms匹配的瞬态响应，对于任何上升或下降的非零设定点多气和范围可配置性：multiflo标准控制范围：零泄漏阀：0.5-100％f.s。
金属密封阀：2-100％f.s。
零稳定性：<±0.15％f.s每年流动温度系数：零：0.005％f.s 每°c
跨度：0.05％s.p.每°c
机械参数：
密封材料：金属纯度 /表面饰面：5µ inch ra avg接液材料：316lhastelloy c-22
316/316l stainless steel
304 stainless steel
km-45
pctfe
阀门选项：通常关闭max温度：60℃压差范围：min：7 psid
max：50 psid
max压力：150 psia
详细参数
产品应用
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