氮化硅陶瓷烧结微波高温加热炉
微波在氮化硅陶瓷制品中的工业应用
微波生产氮化硅粉是采用反应烧结法：将纯硅粉或硅粉与氮化硅粉的混合料在微波窑炉内充入氮气，在1250～1280℃内氮化成α型六方密堆积结构的氮化硅粉。
氮化硅陶瓷制品的烧结 ：是将α氮化硅粉的混合料按一般陶瓷制品生产方法成型，在1350～1450℃的充满氮气的微波窑炉内进一步氮化，直到全部变为β型似晶石结构氮化硅为止。这样制得的产品性能稳定、尺寸精确、密度高、品质好。
而传统的热压烧结法则是将氮化硅粉与少量添加剂（如mgo、al2o3、mgf2、alf3或fe2o3等），在19.6mpa以上的压力和1600～1700℃条件下压热成型烧结。设备造价高、占地大、产量低、生产周期长。
采用微波高温烧结设备生产氮化硅的优势：
① 基于微波的加热特性和微波高温设备的特点，使烧结完成 的产品密度高、性能好；
② 节能、省电，比常规电窑烧结节能40%以上；
③ 设备占地面积、投资成本均比热压烧结法所使用的设备要小得多；
④ 可分批次生产烧结不同类型氮化硅制品，生产灵活性好。
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