20世纪60年代后半期变频器问世，变频器的发展是随着电力电子器件发展而发展的，电力电子器件从scr(晶闸管)、gto(门极可关断晶闸管)、bjt(双极型功率晶体管)、mosfet(金属氧化物场效应管)、sit(静电感应晶体管)、sith(静电感应晶闸管)、mgt(mos控制晶体管)、mct(mos控制品闸管)发展到今天的igbt(绝缘栅双极型晶体管)、hvigbt(耐高压绝缘栅双极型晶闸管)，器件的耐压、功率密度越来越大，电力电子器件的更新促使变频技术的不断发展。
20世纪80年代，主要工业发达国家已经普遍应用。
20世纪90年代以后， 随着人们的节能环保意识增强， 变频器工业应用更加普及。
变频器的发展除了与功率器件密不可分之外，计算机软件的发展也直接促进了变频技术的发展，由最初的线性v/f算法，到后来的矢量算法等等，直接影响着变频器的快速发展。