上海微系统与信息技术研究所

汇集了设备专家，从事于MEMS设备的维护，维修和安装。以及设备和工艺的远程服务。 同时也对在硅片的前道加工的工艺流程单进行编制，对客户电话，网上提出的各种设备，工艺问题给予解答。
可以接受科研院所委托--试制半导体前道工艺。
设备有
ion beam ;pecvd； STS深反应离子刻蚀机；
SUSS MB6光刻机；SUSS SB6 键合机；
ALCATEL ICP;探针台；台阶仪；
WYKO 三维表面测量仪;
扫描电镜。等等