gis的故障诊断方法主要有物理方法和化学方法。一般而言gis发生故障时，都会伴随着物理的和化学的现象产生，运用检测仪器分别检测出现物理和化学现象时候所伴随的声光、电磁信号，运用故障诊断技术来判断gis的故障。
1、机械振动法
机械振动法是在设备不停电的情况下检测局部放电的一种方式。一般而言，局部放电都会伴随着振动的产生，而振动的信号又很容易被检测出来。
2、检测管检测法
gis在长期的运行中以及内部放电都会将sf6气体进行电离分解，通过对分解出相关气体进行检测，从而判断设备是否发生局部放电。具体的方法是从gis设备中提取一定的气体，将该气体分别通过so2、hf检测管，观察检测管内部是否会有颜色的变化，从而得出相关气体的浓度，以此来判断高压电气设备内部是否发生局部放电。
3、超声波检测法
gis内部的局部放电会产生超声波，超声波信号会传达到电气设备的表面，在设备表面装设相关检测仪器，检测电气设备内部是否发生局部放电。
4、电测法
利用gis带电部分与缸体保持绝缘的绝缘子的静电电容进行局放监测。使用该方法时可以采用电容耦合法对高压导体进行测量，也可以对外壳的接地线进行测量。
5、gis故障判断
对gis进行诊断首先是利用上述各种方法，通过伴随故障出现的各种物理和化学现象，直接检测故障。该方法具有快速的特点，然而只能检测部分故障。
第二是利用故障所对应的征兆来诊断故障。
6、gis故障处理
可以采取下列方法处理gis故障。
（1）对gis气体泄漏故障，常常采用检测仪器对泄漏的气体进行一段时间间隔的检测，找到相应的漏气点，若是焊缝故障，对焊缝进行修补重新焊接。如果是由于密封不严造成的，要及时更换密封垫圈。
（2）对于接触不良导致的故障，要对电气设备进行停电，查明故障原因，找出故障原因，从而进行有针对性的处理。
（3）对由于液压机构漏油所造成的gis故障，必须在停电后对液压机构进行泄压处理，深刻查明故障原因，及时处理。