现需要采购一批硅片,技术参数如下:
1、 规格：宽度 125±0.5mm 直径 150±0.5mm
2、 导电类型： P型
3、 电阻率： 0.5－6.0hm?cm
4、 晶向：<100>±3°
5、 位错密度（EPD）<3×10E3pits／cm2
6、 氧含量：<1×10E18atm/cm3(或<20ppma)
7、 碳含量：<5×10E16atm/cm3(或<1ppma)
8、 少子寿命：Lifctimc):10uscc
9、 硅片厚度：0.24－0.27mm
10、 直角偏差：90o±18′
11、 边长偏差：1mm
12、 总厚度偏差（TTV）：30um
13、 弯曲度（BOW）：30um
14、 刀痕：20um
15、 边缘缺角：0.5（D）×0.5(L)mm 每片不多于3处
16、 硅片表面干净，无玷污，无明显色班，无水迹、油迹、胶迹
晶棒：（6英寸） 直径： 153－154mm