日本特许主动磁场控制系统AMC-330,高性能主动磁场控制系统,
■主动磁场控制系统amc-330,高性能主动磁场控制系统,保护电子束应用装置免受磁场变动的干扰,主要应用于●sem扫描电镜●tem透过型电子显微镜●fib聚焦离子束●mass质量分析装置●ebl电子束描画装置●掩膜检查装置●sem晶圆观察测长装置●其他电子束eb应用装置
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