微电子车间、机房防静电结构是什么？可根据实际情况的不同，建立不同等级的静电安全区，采用相关的防静电设备进行防静电。
（1）设置防静电接地系统；
接地电阻<10w（gjb12058－90：<=100w）；多设置接地端；一般要与电器地分置等。
（2）铺设防静电地板和台垫；
地板的结构、材料、施工与验收、日常维护、定期监测。
结构：
1、铺设防静电水磨石地面（长久型）：一次性 铺设，可长久安全的防静电。适用于通讯机房、微电子生产厂房、航空航天、生物医药等领域；
2、刷防静电漆：定期粉刷防静电漆，也可达到防静电的目的；
3、工作人员尤其是操作人员的静电防护：着防静电带防静电腕带、服装等；
4、使用防静电器具：如防静电容器、工具等；
5、控制防静电工作区的湿度和净度。