- 加工定制:
- 品牌:
- 型号:
- 用途:
- 提供加工定制:是
- 别名:
- 输入电压:
- 外形尺寸:
- 电解液导电质:
- 规格:
1、设备名称:semitool半导体湿法蚀刻设备
2、设备品牌:semitool
3、设备功能:金属蚀刻/腐蚀
4、设备应用:半导体、mems、led、微电子、太阳能薄膜电池等
5、设备英文介绍:
application: metal etch / resist removal configured for 6/150mm and 8/200mm wafers. automation & robot: state-of-the-art ansi compliant, 2nd generation, four axis, linear tracking robot that reliably handles 50 wafers in a carrier configuration. the class 1 mini-environment wip stocker meets s-8 ergonomic guidelines and provides storage for 10 wafer cassettes or 250 wafers. process hardware: chemical handling system, module 1: process chambers: - 50 wafer carrierless srd (stainless steel) - 50 wafer carrierless cpc (teflon) process chemical tanks: - cr etch, au etch, al etch, bhf chemical handling system, module 2: - blank module external support equipment: - ozone system with single astex generator - 48kw di heater - co2 fire suppression system (with 75lb co2 bottle) - synetics controller, mini-environment controller features: - secsii interface and software - wafer mapping (hardware and software) - smif loaders (200mm asyst loaders, qty 2) - 6/8 compatibility (hardware and software) original manuals and documentation for semitool spectrum and all associated support equipment.
6、设备中文介绍:
应用:金属蚀刻/腐蚀 配置为6“/150毫米和8”/200mm晶圆。 自动化及机器人:
最先进的ansi标准,第二代,四轴,线性跟踪机器人,可靠地处理50片晶圆得配置。1级微环境wip满足的s - 8符合人体环境安全得指导方针,并提供10晶圆或250晶圆存储。 过程硬件: 化学处理系统,模块1: 流程:- 50晶圆载波srd(不锈钢)- 50晶圆载波cpc(聚四氟乙烯) 过程:- 铬蚀刻,凹蚀刻,铝蚀刻,bhf 化学处理系统,模块2:- 空白的模块 外部支持设备:- 臭氧发生器系统- 48kw的di加热器- 二氧化碳灭火系统(二氧化碳瓶75磅)- synetics控制器,微型环境控制器 特点:- secsii接口和软件- 晶圆映射(硬件和软件)- smif装载机(200毫米asyst装载机,2个)- 6“/ 8”兼容性(硬件和软件) 原手册和semitool频谱和所有相关的支持设备的文件。
深圳市昊光机电科技应用有限公司
王明
13631617125
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